UF2000
Vollautomatischer Wafer Prober für hohen Durchsatz – für 120 bis 200 mm Wafer
Mikrometergenaue Platzierungskontrolle
Exakte Temperaturbestimmung
Hocheffizientes Multi-Pin Probing
Exakte Temperaturbestimmung
Hocheffizientes Multi-Pin Probing
- Präzision +-1,5 µm, mit neuester Optik zur Bestimmung der Platzierungsgenauigkeit
- Ultrastabile Z/θ Plattform für Multi-Pin Probing Kontakt
- Genaue Kontrolle der Umgebungstemperatur – optional mit Low Temperature Chuck oder Hot Chuck
- Hohe Flexibilität – zahlreiche Optionen wie Zweifachlader
- Einfache Bedienung – multifunktionales Display und Touch Screen Bedienung
- Jede Antriebs-Achse kann separat kontrolliert werden – für eine optimale Kontrolle jeder einzelnen Komponente
