UF2000
Yüksek işleme hızı için tam otomatik Wafer Prober Makineleri – 120 ila 200 mm’lik waferler için
Mikrometre hassasiyetinde yerleştirme kontrolü
Hassas ayarlı sıcaklık kontrolü
Üst düzey verimle çalışan Multi-Pin Probing
Hassas ayarlı sıcaklık kontrolü
Üst düzey verimle çalışan Multi-Pin Probing
- İsabetli yerleştirme elde etmek için en son model optik, + -1,5 μm hassasiyetinde kesinlik
- Multi-Pin Probing teması için ultra sağlam Z/θ platformu
- Ortam sıcaklığının hassas kontrolü – isteğe bağlı olarak Low Temperature Chuck veya Hot Chuck ile birlikte
- Üst seviyede esneklik – çift yükleyici vb. – çok sayıda seçenek
- Kolay kullanım – çok fonksiyonlu ekran, dokunmatik ekran kullanımı
- Her bir tahrik ekseni ayrı ayrı kontrol edilebilir – her bileşenin optimum kontrolü için
