UF200R
120 ila 200 mm’lik waferler için tam otomatik Wafer Prober Makineleri
Yüksek işlem hızı
Geniş kullanım yelpazesi
Üst düzey planlama güvenilirliği
Zengin ilave parça seçenekleri
Geniş kullanım yelpazesi
Üst düzey planlama güvenilirliği
Zengin ilave parça seçenekleri
- Şimdi en yeni SW ve elektronik nesille hizmetinizde
- MEMS wafer işleme gibi çeşitli özel uygulamalar için de uygun
- XY ekseni içindeki maksimum hız 300 mm / s, Z ekseninde 30 mm / s, dönüş açısı + -5 derece
- İsteğe bağlı ikinci yükleme kaseti ile
- Robot kollu ve Backside Holdingli wafer işleme
