UF3000EX
Vollautomatischer Wafer Prober für höchste Produktionsansprüche – noch schneller und genauer
Extrem hoher Durchsatz
Höchste Probe-Kraft
Optisches Mess-System
Punktgenaues Navigieren
Höchste Probe-Kraft
Optisches Mess-System
Punktgenaues Navigieren
- Neu entwickelte XY Stage Antriebseinheit und neues Berechnungsverfahren für extrem hohen Durchsatz
- Verbesserte Z-Plattform für höchste Probekraft – für gleichmäßigen Kontakt auf großflächigen und High Pin Count Probe Cards
- Hochstabile Z-Achse mit großflächiger Nadel-Reinigungseinheit
- 15 inch LCD Touch Screen für einfache Bedienbarkeit
- Optical Target Scope (OTS) zum hochpräzisen Messen der relativen Positionen von Probe Card und Chuck
- Tri-Color 3-Level Magnifying für farbige Aufnahme und 3 Vergrößerungsebenen
- Navigations Display Funktion – durch einfaches Berühren der Wafermap kann der User zu jedem gewünschten Waferpunkt gelangen
