UF3000EX-e
Vollautomatischer Wafer Prober – verfügbar für eine Vielzahl von Sonderanwendungen
Kompromisslos im Durchsatz
Hochflexibel in der Anwendung
Punktgenau in der Navigation
Berührungslos bei der Messung
Hochflexibel in der Anwendung
Punktgenau in der Navigation
Berührungslos bei der Messung
- Für Wafer von 200 bis 300 mm Durchmesser – auch für spezielle Wafertypen
- Neu entwickelte XY Stage Antriebseinheit und neuer Algorithmus für extrem hohen Durchsatz
- Verbesserte Z-Plattform für höchste Probekraft – für gleichmäßigen Kontakt auf großflächigen und High Pin Count Probe Cards
- 15 Inch LCD Touch Screen für einfache Bedienbarkeit
- Optical Target Scope (OTS) zum hochpräzisen Messen der relativen Positionen von Probe Card und Chuck
- Tri-Color 3-Level Magnifying für farbige Aufnahmen in 3 Vergrößerungsebenen
- Navigations Display Funktion – durch einfaches Berühren der Wafermap kann der User zu jedem gewünschten Waferpunkt gelangen
